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氮化鋁陶瓷氫氣還原燒結設備(2000℃)
關 鍵 詞:氮化鋁,半導體,氧化鋁,蝕刻機,濕氫,氫氣還原,高溫燒結,真空爐,氫氣爐

型       號:SWSL-2000 Φ450*400mm (2309951)
品       牌:上海鉅晶
發貨周期:1-4個月
接受訂制:可按要求定制
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一、應用行業工藝信息

1、主要信息:

 

工藝名稱

   真空氣氛燒結

應用行業

半導體

工藝目的

氮化鋁陶瓷高溫燒結,達到導熱率,提高電阻率

材料(零件)名稱

氮化鋁

工藝最高溫度

1850

材料(零件)尺寸

     6-8英寸

工藝極限真空

6.67*10-1Pa

溶液(堆積)密度


工藝氣體

氮氣、氬氣、氫氣

一次性處理量

60KG

揮發物

取放料方式


氫氣



關注重點和注意事項

1.氫氣安全監測



 

2、客戶工藝流程圖/工藝流程步驟

 

二、設備主要用途及優點

1、 主要用途:主要用于氮化鋁高溫燒結,通純氫氣或者氮氫混合

2、 主要優點或特點: 

、工藝滿足性:根據客戶工藝要求,真空或者氣氛下高溫燒結可通純氫氣,氫氣尾氣燃燒、氫氣實時監測,安全可靠,既能滿足客戶工藝需求又能節儉成本和使用空間。

、設備安全性:

A、 設備安全:設有系統監控畫面、故障處理畫面及幫助界面等,系統在運行中的各種數據能夠隨時查看、記錄并打印。面板上的紅色閃光指示燈用來顯示各種報警功能,操作者根據提示可以立刻判斷出報警的位置并處理。

B、監測安全:配有安全聯鎖保護功能,具有超溫斷電或保持,停水斷電(延時停止加熱、真空泵等),充氣的壓力保護及真空壓力保護等。

C、第三方檢測:可根據客戶要求提供儀表、熱偶、電氣部件等質量保證文件,第三方計量鑒定等

、自動化程度:設備自動化程度高,一人即可完成生產作業,可根據工藝設定程序自運行和安全互鎖等功能;

、質量等級:按優質設備配置,外形美觀,結構合理,性能穩定可靠,使用壽命長,維護保養方便,相關電氣配件采用進口或國內一線品牌;

、穩定性和維護:設備的加熱、真空、氣路,控制系統等是模塊化集成設計,便于維護和更換。

、節能降耗生產效率:結構合理性能穩定。 

 


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