一、應用行業工藝信息
1、主要信息:
工藝名稱 | 真空氣氛燒結 | 應用行業 | 半導體 |
工藝目的 | 氮化鋁陶瓷高溫燒結,達到導熱率,提高電阻率 | 材料(零件)名稱 | 氮化鋁 |
工藝最高溫度 | 1850℃ | 材料(零件)尺寸 | 6-8英寸 |
工藝極限真空 | 6.67*10-1Pa | 溶液(堆積)密度 | |
工藝氣體 | 氮氣、氬氣、氫氣 | 一次性處理量 | 60KG |
揮發物 | 無 | 取放料方式 | |
尾 氣 | 氫氣 | ||
關注重點和注意事項 | |||
1.氫氣安全監測 | |||
2、客戶工藝流程圖/工藝流程步驟
二、設備主要用途及優點
1、 主要用途:主要用于氮化鋁高溫燒結,通純氫氣或者氮氫混合
2、 主要優點或特點:
①、工藝滿足性:根據客戶工藝要求,真空或者氣氛下高溫燒結,可通純氫氣,氫氣尾氣燃燒、氫氣實時監測,安全可靠,既能滿足客戶工藝需求又能節儉成本和使用空間。
②、設備安全性:
A、 設備安全:設有系統監控畫面、故障處理畫面及幫助界面等,系統在運行中的各種數據能夠隨時查看、記錄并打印。面板上的紅色閃光指示燈用來顯示各種報警功能,操作者根據提示可以立刻判斷出報警的位置并處理。
B、監測安全:配有安全聯鎖保護功能,具有超溫斷電或保持,停水斷電(延時停止加熱、真空泵等),充氣的壓力保護及真空壓力保護等。
C、第三方檢測:可根據客戶要求提供儀表、熱偶、電氣部件等質量保證文件,第三方計量鑒定等
③、自動化程度:設備自動化程度高,一人即可完成生產作業,可根據工藝設定程序自運行和安全互鎖等功能;
④、質量等級:按優質設備配置,外形美觀,結構合理,性能穩定可靠,使用壽命長,維護保養方便,相關電氣配件采用進口或國內一線品牌;
⑤、穩定性和維護:設備的加熱、真空、氣路,控制系統等是模塊化集成設計,便于維護和更換。
⑥、節能降耗生產效率:結構合理性能穩定。