CVI-1700系統由SGL-1700L真空管式爐，HQZ-Ⅳ混氣系統，真空壓強控制系統，尾氣冷凝收集處理系統等組成。真空泵采進口抗腐蝕隔膜真空泵，真空度可達到7.5x10-1Torr；可實現多路混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗。 | |
主要技術參數： | |
SGL-1700L 真空管式爐 | 雙層爐殼間配有風冷系統，有效保證外殼表面溫 日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 加熱元件采用優質U型硅鉬棒，表面負荷高，大大提高了其使用壽命 |
機器電源 | AC220V，50/60Hz；額定功率6KW |
爐管 | 采用99氧化鋁剛玉管，致密度高，經久耐用，不易斷裂 尺寸：Φ80*/1000mm 剛玉支撐架，有效保證料件處于溫區中心 |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速水冷法蘭，長期水冷無腐蝕 一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷 可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個密封硅膠圈等 |
加熱系統 | 加熱元件：4根U型硅鉬棒 加熱區長度：280mm 恒溫區長度：100mm 工作溫度：≤1600℃ 升溫速率：≤10℃/min |
溫控系統 | 溫度控制采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能 50段升降溫程序 測溫元件：B型雙鉑銠熱電偶 恒溫精度：±1℃ 超溫、斷偶故障警報及斷電保護 |
HQZ-Ⅳ 混氣系統 | 高精度質量流量計通過數據接口連接電腦，配置軟件實時人機交互界面 四通道質量流量控制，可同時通入四種不同氣體 內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 流量規格：0~30SLM 控制精度：±1.0％F.S |
真空系統 | 采用德國LABOPORT小型抗腐蝕隔膜真空泵，可用于腐蝕性氣體和蒸汽介質 真空度可達7.5x10-1 Torr 可長時間連續工作，無須擔心泵因過熱保護而中止實驗 可選配真空表，實現對真空及壓力的調節控制 配置氣體尾氣處理系統 |
冷凝系統 | 采用低溫恒溫槽，最低溫度可達-20℃ 內置不銹鋼真空冷凝灌，采用KF接頭，清理收集方便 槽內冷液可外引,冷卻機外實驗容器,也可在槽內直接進行低溫、恒溫實驗 |
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